油温机在精馏工艺中的应用

油温机在精馏工艺中的应用

电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸，可用于硅晶片的清洗和蚀刻，有效除去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物，广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程。制备工艺包括精馏法和气体吸收法，精馏法包括常压精馏法和减压精馏法，常压精馏的操作温度约330℃，对设备材质要求较高，为了降低操作温度，多采用减压精馏处理：减压精馏的压力为1.33～2.67 kPa。温度为175～190℃。

1.采用国内外知名配件、使机器性能更有保障采用电器组件、日本FUJI、OMROU、法国Schneider、瑞士ABB,RS485/MODBUS通讯。远程控制、德国 SIEMENS、PLC编程匹配工业自动化（选购）等台湾安良欠逆相保护器等，各项警报及动作指示完善。

2采用高温油油泵：流量1-1500立方每小时供选择、扬尘10-135米、温度-20-350度、功率0.75-500KW、材质过流部件可根据用户不同需球，选用QT450-10、20CrMo.、ZG230-450 、304 、 316、 316L等等

3：能在交底的运行压力下(<0.5Mpa)，获得较高的工作温度(≤350℃),降低了用热设备的受压等级，可提高系统的安全性。

4：加热均匀柔合，温度调节采用PID自整定智能控制，控温精度高(≤±1℃)，可满足高工艺标准的严格要求。

5：体积小，占地少，可安装在用热设备附近，不需专设锅炉房，不需要设专人操作，可降低设备投资及运行费用，回收投资快。

6：运行控制及安全监测装置齐全完备，升温过程全自动控制，操作简捷，安装方便。